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激光波长调谐与稳频器-iScan
THz扫描干涉仪
在入射臂采用扫描干涉仪，通过扫描参考镜获得傅里叶光谱实现光谱测量，光源的光谱分布是中心波长为610nm和半峰全宽为170 nm。该技术较大地拓宽了光谱带宽，增强了光强，测量结果更加准确。椭偏仪大多采用透镜将宽带光束聚集在样品表面，然而透射式光学系统设计无法满足宽光谱的测量要求，在深紫外情况下会产生明显的色差问题。直到 2013 年，电子科技大学物理电子学院和中科院微电子所改变聚焦成像系统，研制了基于全反射聚焦光学系统的深紫外（DUV）宽带光谱椭偏仪。该椭偏仪采用基于离轴抛物面镜和平面反射镜的全反射式光学系统实现宽光谱（200-1000 nm）测量，离轴抛物面镜用于产生或聚焦准直 光束，平面反射 ...
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