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中文:散射板干涉仪;英文:scatter plate interfero-meter
关键词
散射板干涉仪
scatter plate interfero-meter
解释
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利用一种弱散射板作分束器的一种共路干涉仪。仪器的准单色点光源经透镜和散射板成像在被检测镜面,并反射返回,再次通过散射板,成像于像平面,形成镜面反射光和散射光的干涉条纹,以检测镜面缺陷。
相关词条
中文:干涉仪;英文:interferometer
中文:面缺陷;英文:planar defect
中文:散射;英文:scattering
中文:干涉条纹;英文:interference fringes
中文:共路干涉;英文:common path interference
中文:干涉;英文:interference
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