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了调零过程，图像获取速率可以达到摄像机的zui高帧率，提高了测量速度，也减小了人为误差；而且对光束强度的均匀性没有要求，测量性能大大提高，可以实时检测样品表面缺陷和污染。2019 年日本东北大学采用三步相移椭偏成像技术，以椭偏测量术结合时间相移图像处理单元进行相移成像椭偏测量。与光度法相比，该技术通过四分之一波片（QWP）和旋转线性偏振片（RLP）插入相移，根据旋转线性偏振片的方位角进行连续采集，在恒定旋转速度下，选择具有相等角度间隔的三个角度，在恒定时间内得到三幅图，用于测量纳米材料厚度，结构如下图所示。三步相移成像椭偏仪结构示意图其中，使用QWP和RLP插入相移。由于相移图像是根据RLP的 ...
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