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扫描，点对点步进扫描，目标跟踪等。图1 Mirrorcle专利的无框架两轴扫描驱动器的示例示意图（该驱动器基于四个静电双向旋转器，通过特殊的硅支架连接）多个授予的专利描述了专有的无平衡环设计方法和独特的专有多级光束制造方法，用于从单晶硅单片创建一个完整的驱动器。无框架设计的一个主要优点是能够在两个轴上以相同的速度控制光束或图像。一个具有0.8 mm直径镜的典型装置的倾斜角从-6°到+6°，非谐振光束转向超过1000 rad/s，在两个轴上的第一谐振频率都在3.6 kHz以上。当开环驱动专用输入整形滤波器时，<100 us的大角度阶跃响应稳定时间已经在直径高达0.8 mm的MEMS反射镜设 ...
在改变光程的步进扫描中获得一组干涉图样，进而计算三维相位轮廓，表征LCOS液晶受电压变量和相位变量的关系。然后可以调整电压变量的增量关系来获得LCOS的灰度值和相位改变量的线性关系。采用白光干涉，可获得对比度高的干涉条纹，与窄带激光干涉相比，白光干涉可以定位零级条纹，消除2p相位的误差，更精确判断液晶的相位改变量。同时由于精度的提高，此种方法可以实现像素级相位观测。相关文献：《基于扫描白光干涉法的LCOS芯片像素级相位分析》作者：屈铭,郑俊杰,李敏,桂聪,宋五洲关于昊量光电昊量光电 您的光电超市！上海昊量光电设备有限公司致力于引进国外先进性与创新性的光电技术与可靠产品！与来自美国、欧洲、日本等 ...
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