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中文：可控微扫描；英文：controllable micro-scan_ ning

关键词
解释
中文：可控微扫描；英文：controllable micro-scan_ ning的原理；中文：可控微扫描；英文：controllable micro-scan_ ning的定义；中文：可控微扫描；英文：controllable micro-scan_ ning是什么。
 微位移与微探测间隔的比例可控的一种微扫描。根据扫描的水平和垂直移动的顺序，分为1×1、2×2、3×3等扫描模式。典型的2×2 模式的微扫描所形成的微位移是微探测器间隔的一半。
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