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中文：标量光刻成像；英文：scalar lithography imaging

关键词
解释
中文：标量光刻成像；英文：scalar lithography imaging的原理；中文：标量光刻成像；英文：scalar lithography imaging的定义；中文：标量光刻成像；英文：scalar lithography imaging是什么。
 只含有光场的标量特征信息的光刻成像。
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