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面的破损影响光学系统透过率和像质；同时，该方法检测精度较低，且一次测量只能完成一个子单元的焦距测量，不适合单元数较多的微透镜阵列检测。2，显微镜共焦检测法西安光学精密机械研究所使用一种基于显微镜共焦检测系统的方法测量微透镜阵列的焦距，如图 2-1所示。根据显微镜中像点清晰度变化确定微透镜阵列的顶点和焦点位置，完成微透镜阵列的焦距测量测量系统需要两个点光源1、6和相应的准直系统，测量分两步进行：首先确定焦点位置，利用点光源1的出射准直光源经过被测微透镜阵列成像与其焦点上，移动显微镜使像点最清晰即显微镜与微透镜阵列共焦；再关闭光源1而开启点光源6，移动显微镜物方焦点至微透镜阵列顶点处，两次测量过程 ...
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