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而反射式和折反射式光学系统占有较大的比例。同时，光学系统的结构应尽量简单，以减少能量的损失。其次，红外光学系统的接收器不是人眼或胶片，而是光电探测器。因此，光学系统的性能以它和探测器匹配的灵敏度、信噪比为主要评价依据，而不是单纯考虑光学系统的分辦率。第三，由于红外辐射波长较长,相应的衍射极限较低。早期的红外探测器分辨率低，对光学系统的像质要求也相应较低。但随着红外探测器分辨率的提高，对光学系统的要求也越来越高，而要得到较高的分辨率必须要有大的相对孔径。对于光机扫描结构，光学系统的视场较小，属于大孔径小视场系统，但要考虑对像面弯曲或畸变的特殊要求。对于凝视成像系统，由于探测器像元数比扫描型要多得 ...
面反射镜的全反射式光学系统实现宽光谱（200-1000 nm）测量，离轴抛物面镜用于产生或聚焦准直 光束，平面反射镜用于改变光束方向并补偿由离轴抛物面镜反射引起的偏振态变化，解决了色差问题。2016 年，合肥工业大学和中国科学院微电子所在深紫外宽带光谱仪的基础上增加快速旋转补偿器式的椭偏结构，该结构实现了宽光谱成像，将光谱范围拓宽到深紫外波段，横向分辨率约为8. 77μm×4. 92μm，并减小了系统误差。其测量结构如下图所示。全反射式椭偏成像系统结构示意图在拓宽光谱范围的同时，提高测量速度和准确性也成为成像椭偏仪的重要研究方向。2010年，清华大学吴学健等发明了一种基于磁光效应的成像椭偏仪， ...
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