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中文：后烘；英文：post exposure bake

关键词
解释
中文：后烘；英文：post exposure bake的原理；中文：后烘；英文：post exposure bake的定义；中文：后烘；英文：post exposure bake是什么。
 对显影后的光刻胶光栅在特定温度条件下进行烘焙的过程。后烘可去除光栅基底上残余的显影溶剂，改善掩模与光栅基底的黏附能力，同时使掩模硬化。
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