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中文：反应离子束刻蚀；英文：reactive ion etching

关键词
解释
中文：反应离子束刻蚀；英文：reactive ion etching的原理；中文：反应离子束刻蚀；英文：reactive ion etching的定义；中文：反应离子束刻蚀；英文：reactive ion etching是什么。
 射频电源使反应室的混合气体产生等离子体，离子被加速并与待刻蚀的表面材料相互作用，发生物理和化学反应，高能离子轰击待刻蚀材料、使原子溢出、实现刻蚀的工艺过程。
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