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中文：微悬臂梁红外探测器；英文：micro-canti- lever infrared detector

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中文：微悬臂梁红外探测器；英文：micro-canti- lever infrared detector的原理；中文：微悬臂梁红外探测器；英文：micro-canti- lever infrared detector的定义；中文：微悬臂梁红外探测器；英文：micro-canti- lever infrared detector是什么。
 用两种热胀系数不同的材料黏合而成的复合膜制成的微悬臂梁结构作为敏感元，利用其受热后的形变转换成电容或者反射镜角度的变化来探测红外辐射的光电探测器。
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