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下图所示使用平行平晶对椭偏仪的椭偏角进行验证。此时，按照斯涅尔定律和折射定律式上述两个定律可以转换为式中:rp— P 光反射系数；rs— S 光反射系数；θ1—入射角；θ2— 折射角；n1 — 空气折射率；n2 — 平行平晶折射率。求解上式可得：此时，我们能够很容易发现：椭偏角只与平行平晶的折射率相关，因此，只要确定了平行平晶的折射率即可得到椭偏角。下图给出了使用折射率为1.46的平行平晶验证光谱型椭偏仪椭偏角的实例。其中被校椭偏仪的入射角度为65°,求解上式可得的理论值为14.48°, Δ 的理论值为0° ,实际测量结果与理论值相差不超 过 ±0.5°。(a)椭偏角验证结果 (b)椭偏角Δ验 ...
是使用空气和平行平晶作为标准，对椭偏仪特定椭偏角的测量结果进行验证，但是这并不能保证椭偏角在全范围内的量值准确可靠。基于以上分析，有必要给出一种更为完善的椭偏角校准方法，以保证光谱型椭偏仪椭偏角在较大范围内测量结果的准确可靠，我们称他为样片测量法。根据椭偏仪测量流程可知，首先需要测量被测样品得到椭偏角参数，然后建立测量模型通过拟合的方式得到薄膜的厚度。对于光谱型椭偏仪而言，不同材料、不同薄膜厚度的样片，对应的椭偏参数是不相同的。假定被测样品材料固定，则椭偏角和薄膜厚度建立了对应的关系，使用不同厚度的薄膜样片就可以实现椭偏角的校准，测量形式如图1所示。图1 模型固定的椭偏仪测量形式目前，硅作为较 ...
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