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中文：硅基波导；英文：silicon-based waveguide

关键词
解释
中文：硅基波导；英文：silicon-based waveguide的原理；中文：硅基波导；英文：silicon-based waveguide的定义；中文：硅基波导；英文：silicon-based waveguide是什么。
 在硅基材料上形成的光波导结构。它主要包括硅基IV族波导、硅基聚合物波导、SiO2波导和硅基上绝缘材料（SOI）波导等。
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