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中文:子孔径拼接检测;英文:sub-aperture stitch-ing testing
关键词
子孔径拼接检测
sub-aperture stitch-ing testing
解释
中文:子孔径拼接检测;英文:sub-aperture stitch-ing testing的原理;中文:子孔径拼接检测;英文:sub-aperture stitch-ing testing的定义;中文:子孔径拼接检测;英文:sub-aperture stitch-ing testing是什么。
依据被检面的面形参数及干涉仪的技术参数将被检面划分为若干个子区域,对各子区域单独检测,再将检测结果拼接、合并,从而获得整个被检面面形信息的检测方法。一般可分为圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接。
相关词条
中文:干涉仪;英文:interferometer
中文:通光孔径;英文:aperture
中文:干涉;英文:interference
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