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中文：量子刻蚀；英文：quantum lithography

关键词
解释
中文：量子刻蚀；英文：quantum lithography的原理；中文：量子刻蚀；英文：quantum lithography的定义；中文：量子刻蚀；英文：quantum lithography是什么。
 利用光场的量子性质或具有量子关联和量子纠缠特性的光场，以期在分辨率等方面获取优于经典光场刻蚀的结果而进行的成像刻蚀。
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