激光干涉仪是如何测量位移的?激光干涉仪是一种广泛应用于科学研究、工业制造和精密测量领域的仪器。在科学研究领域,激光干涉仪广泛应用于物理学、化学和生物学等多个学科,为研究人员提供了强大的工具。在工业制造中,激光干涉仪在精密加工、质量控制和自动化生产中发挥着关键作用。激光干涉仪的基本原理是利用激光的干涉效应进行测量和分析。在国际上,有多种常用的激光干涉仪技术,如迈克尔逊干涉仪、法布里-珀罗干涉仪和雅各比干涉仪等。法布里-珀罗干涉仪是一种常用的干涉仪,其为基于光学谐振腔原理的干涉仪器。核心是由两平行的反射镜构成的腔体,其中的激光通过多次反射形成谐振,从而形成干涉条纹。该技术在光谱分析、精密测量和光学 ...
年首次提出了干涉式椭偏测量的概念,针对其中存在的问题,有人提出了使用塞曼激光和声光调制器的系统设计,还有人提出采用电光调制和波长调制半导体激光器的方案。Watkins采用压电晶体振荡的方法产生拍频,实验测量了SiO2膜,zui佳测量不确定度可达360pm。以上理论研究和实验表明,干涉式椭偏测量技术对于实时、快速薄膜测量有很好的应用价值与市场潜力,但外差干涉测量中存在的非线性误差是阻碍该技术实际应用的主要原因。外差干涉测量系统中的非线性误差一直是国内外研究热点,研究人员对激光源、偏振分光镜、波片、反射镜等误差源开展了很多研究工作,并取得了许多有意义的研究成果,提出了多种非线性误差测量与补偿的方法 ...
古.连续偏光干涉法测量波片宽波段延迟量变化[J].激光技术,2012,36(2):258-261.4赵振堂,林天夏,黄佐华,何振江.利用消光式椭偏仪精确测量波片相位延迟量[J].激光杂志,2012,33(3):8-9.5程一斌,侯俊峰,王东光.组合波片的椭圆率角测量方法[J].北京理工大学学报,2019,39(7):750-755.6于德洪,李国华,苏美开,宋连科.任意波长云母波片位相延迟的测量[J].光电子.激光,1990,1(5):267-269.7徐文东,李锡善.波片相位延迟量精密测量新方法[J].光学学报,1994,14(10):1096-1101.8薛庆文,李国华.半阴法测量λ/4波 ...
曾德尔型外差干涉椭偏测量系统,研究了多层介质膜NPBS的退偏效应和方位角引入的椭偏参数测量误差。采用p,s分量透射比、反射比K、反射相移、透射相移共同表征NPBS的退偏效应,建立了相应的误差模型。研究结果表明,由环境温度、入射角和光束偏振态的变化引起的NPBS退偏参数的漂移对椭偏测量精度影响很大,且无法通过标定来降低;为实现纳米级测量精度,NPBS的对准误差需要控制在0.1°以内。相对而言,用于合光的NPBS2方位角误差对测量精度影响较大,而测量光路中的NPBS1对相位差误差影响很小,二者的参数漂移对测量精度的影响基本一致。NPBS所导致的膜厚测量总误差约为1.8~2.5nm,与PBS引入的误 ...
位移测量1激光干涉仪激光干涉仪是采用干涉技术进行位移测量的仪器。它具有非接触、高速、高精度测量的优点,广泛应用在光刻、精密机械加工和坐标测量领域中。(1)单频激光干涉仪与外差激光干涉仪设入射到光电探测器的两束线偏振光为E1和E2,两者的偏振方向相同,光频分别为f1和f2这两束光可表示为:式中,V1和V2为振幅;φ1和φ2为初位相。两束光波进行干涉后的信号强度为:当为f1=f2时,干涉仪称为单频型干涉仪。位移通过干涉信号的位相变化来测量。干涉信号直流电平的波动影响了位相测量的准确性,原因是由于激光功率的变化。guo家物理实验室开发出的干涉仪,采用3个位相分别为0°,90°、180°的干涉信号的组 ...
试仪、直线度干涉仪、准直望远镜及激光准直仪。(2)斜率积分此方法基于局部斜率测量技术和对高度差求和的表面轮廓重建技术。因此,被测量是角度及距离。对于角度测量,需要独立的参考基准。对于采用光学方法进行角度测量,是以视线为基准的。对于机械式斜率测量通常指的是重力线。倾斜角测量是采用自准直仪,角干涉仪或电子水准仪来实现的。3基于光束的直线度测量对于光学对准系统,基准或参考基线定义为精密光学仪器的光轴。在不同配置的望远镜、准直仪和靶标,位置或角度对测量很敏感。(1)对准式望远镜:它要建立准确的视线。光学系统的根本特性是聚焦过程中要精确保证系统光轴方向不变。从望远镜筒末端到无穷远物距的大范围内,这些仪器 ...
射后,由多光干涉的公式可得zui终反射系数为:其中,d是膜厚,λ是真空中光的波长,2δ是相邻两束反射光的相位差。振幅、相位是描述光波偏振状态的两个参数,在椭偏仪中用Ψ、△来表示。其取值范围是:0≤Ψ≤π/2,0≤△<2π。总反射系数比值定义为ρ,ρ与(Ψ,△)、(Rp,Rs)关系式如下:其中,tgΨ为反射前后P、S光两分量的振幅衰减比,△=δp−δs为P、S两分量相位变化差。可以清楚地看到Ψ、△直接给出反射前和反射后光偏振状态变化。在衬底、入射角、波长等确定已知的条件下,Ψ、△是膜厚d和薄膜折射率n的函数,可表示为下式:由上式可知薄膜反射后,椭偏光偏振状态发生改变,成为另一种椭偏光。测量 ...
围)激光器。干涉测量技术和全息术利用脉冲激光用于解决与记录系统的稳定性相关的问题。光学遥感和通信应用包含纤维主要利用Nd:YAG激光器。zui大能量的CO2激光器广泛应用于工业应用,如材料加工(激光切割,焊接,钻孔,等等),目前以上几乎所有的激光器都应用于医疗过程。了解更多详情,请访问上海昊量光电的官方网页:https://www.auniontech.com/three-level-330.html更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电:上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等,涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生 ...
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