,研制了基于全反射聚焦光学系统的深紫外(DUV)宽带光谱椭偏仪。该椭偏仪采用基于离轴抛物面镜和平面反射镜的全反射式光学系统实现宽光谱(200-1000 nm)测量,离轴抛物面镜用于产生或聚焦准直 光束,平面反射镜用于改变光束方向并补偿由离轴抛物面镜反射引起的偏振态变化,解决了色差问题。2016 年,合肥工业大学和中国科学院微电子所在深紫外宽带光谱仪的基础上增加快速旋转补偿器式的椭偏结构,该结构实现了宽光谱成像,将光谱范围拓宽到深紫外波段,横向分辨率约为8. 77μm×4. 92μm,并减小了系统误差。其测量结构如下图所示。全反射式椭偏成像系统结构示意图在拓宽光谱范围的同时,提高测量速度和准确性 ...
谱探头、衰减全反射探头(ATR Probe)等。 ...
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