m高分辨紫外波前传感器助力半导体行业发展!摘要:本文介绍了紫外波前传感器在半导体检测中的应用。详细阐述了其在晶圆检测、芯片检测、封装检测以及光学元件检测中的具体应用。指出紫外波前传感器能够提供高精度的检测数据,帮助工程师及时发现问题并进行修复,从而提高产品质量和生产效率。上海昊量光电设备有限公司推出全新一代高分辨率紫外波前传感器,探测波段覆盖190-400nm。该高分辨率紫外波前传感器具有可测试汇聚光斑,高动态范围,大通光面(13.3mm x13.3mm),高分辨率(512x512),消色差,震动不敏感等特点。半导体技术在现代社会中扮演着越来越重要的角色。随着半导体器件尺寸的减小和集成度的提高 ...
光波的相位和波前呈螺旋型,其在柱坐标系(r,φ,z)下的复振幅表达式中含有螺旋相位项eilφ, 其中l可为任一整数。由于光束中心存在相位奇点,因此相位涡旋光束的光场分布是中空环形。偏振涡旋光束,即在光场横截面上具有涡旋分布偏振态的光束。与常见的线偏振,椭圆偏振和圆偏振等各向同性偏振光不同,偏振涡旋光束具有各向异性的偏振态分布,光场横截面中每一点都具有自己独特的偏振方向,表现出很强的矢量偏振特性,因此偏振涡旋光束也称为矢量光束。光的自旋角动量与光束的偏振性质紧密相关,而光的轨道角动量则源于光场横截面的复场分布,表征光束的波前性质。傍轴近似下,涡旋光束的轨道角动量与自旋角动量可分解开,光子的角动量 ...
一、慧差的概念慧差,也叫彗形像差,Coma Aberration,是轴外物点(或称轴外视场点)所发出的锥形光束通过光学系统成像后,在理想像面不能成完美的像点,而是形成拖着尾巴的如彗星形状的光斑,故对此光学系统的这种像差称其为慧差。如图所示二、慧差的特点在边区一带光线形成亮度较低,虚散的大环形,主光轴一带光线形成高亮度清晰的小环形。重叠后形成梨状圆形,类似彗星拖尾。如图所示三、慧差产生的原因球面透镜各光区成像的放大率不一致,导致各光区的焦点不同。是由轴外点宽光束的主光线与球面对称轴不重合,而由折射球面的球差引起的。四、慧差的种类慧差的种类很多,分类方法不一,在彗形亮斑的朝向上可分为外向慧差和内向 ...
一、场曲的概念场曲,又称像场弯曲,Field Curvature,顾名思义,是指平面物体通过透镜系统后,所有平面物点聚焦后的像面不与理想像平面重合,而是呈现为一个弯曲的像面,这种现象称为场曲。有时我们也理解为视场聚焦后像面的弯曲。如图所示二、场曲的特点在高斯成像面上进行一定左右移动,可以明显看到其像越偏离中心,像质越差;而如在高斯成像面上进行一定弧度的摆动,则可以发现像与中心同样清晰。换句话说,让成像面进行前后移动,可以清晰的观察到中心像与边缘的像的像质不同,不能保证同时清晰。场曲与像散一般来说是同时产生,透镜对平面物体能够结成的双重影像,主像面为横切线焦面,副像面为辐射线焦面。如果两个像面不 ...
一、色差的概念多数的成像镜头都是应用于可见光波段,其波长大约在400~700nm,这就引入了多色光情况下成像后的颜色分离,也就是色散现象。色差,指颜色像差,是透镜系统成像时的一种严重缺陷,由于同种材料对不同波长的光有不同的折射率,便造成了多波长的光束通过透镜后传播方向分离。简单来说,色差就是颜色分离带来的光学系统的像差。色差分两种,一种叫做轴向色差,另一种叫做垂轴色差。本章我们只详细介绍垂轴色差。二、垂轴色差的概念垂轴色差,Lateral Color,也叫做倍率色差、横向色差,指轴外视场不同波长光束通过透镜聚焦后在想面上高度各不相同,也就是每个波长成像后放大率不同,故称为倍率色差。多个波长的焦 ...
改变相干光束波前的调制器。 通过将液晶材料的电光性能特征与基于硅的数字电路相结合,Meadowlark Optics 现在提供了高分辨率的 SLM,这些 SLM 还具有物理紧凑性和高光学效率。图一:紧凑的HSP1K(1024×1024)系列和E19×12(1920×1200)系列SLMMeadowlark Optics 的硅基液晶 (LCoS) 空间光调制器 (SLM) 专为纯相位应用而设计,并结合了具有高刷新率的模拟数据寻址。 这种组合为用户提供最快的响应时间和高相位稳定性。这些SLM 适用于需要高速、高衍射效率、低相位纹波和高功率激光的应用。特点一:高刷新速度1024 x 1024分辨率的 ...
性等所产生的波前变形,通过测量电磁波的复振幅分布来实现,而复振幅的测量则是通过将变形波前与理想波前进行混合的互相关完成。波形表示电磁波的复振幅,干涉波的振幅相同,当两束波的相位相差π时,振幅恰好相互抵消;当两束波的相位相同时,合成波的复振幅是单一波束振幅的2倍。如下图2.1所示。2.1复振幅的合成2.2明暗条纹对比度由于光强便于探测,一般用强度来表示对比度。上式Imax为两束相干光同相时振幅的时间平均;Imin为反相时 两束相干光的振幅时间平均。3.干涉仪的分类(1)斐索干涉仪3.1斐索干涉仪与其它干涉仪相比较而言,斐索干涉仪多了一些限制,光源的谱线宽度 限制了其相干性,因此,分光镜的表面必须 ...
与物镜后瞳孔波前共轭,微透镜阵列通过对波前分段,在单个透镜后传输角度信息,从而使相机在不同区域输出图像。图6傅里叶光场系统通过在傅里叶域(FD)中记录4D光场,成像方案主要通过两种方式对LFM进行变换。首先,FD系统允许以一致的混叠方式分配入射光的空间和角度信息,有效地避免由于冗余而产生的任何伪影。第二,由于FD以并行方式处理信号,因此可以用统一的三维点扩展函数来描述图像形成,从而大大减少了计算成本。3.光场传播和成像模型结合光场显微技术和傅里叶变换理论的有关知识,微型化傅里叶光场显微镜的设计是在光场显微镜的基础上引入一个新的光学透镜,这一透镜放置的位置应远离像平面NIP处,同时应放置在主透镜 ...
正信道的畸变波前和使用偏振复用高阶复杂调制格式,实现了高吞吐量。研究发现,自适应光学系统不会对相干调制格式的接收产生畸变。此外,我们还介绍了星座调制——一种新的四维BPSK (4D-BPSK)调制格式,作为在很低信噪比下传输高数据速率的技术。通过这种方式,我们展示了53公里FSO传输速率为13.3 Gbit/s和210 Gbit/s,每比特分别只有4.3和7.8光子,误码率为1∙10-3。实验表明,相干调制编码与全自适应光滤波相结合是实现下一代Tbit/s卫星通信实用化的有效手段。9.反向纳米聚焦波导中铒的发射增强(Emission enhancement of erbium in a rev ...
原因是激光的波前在光线内周期性振荡。图2 不同模式下光纤内光束质量为了更好的对比,我们模拟了基模激光分别从三臂输入光纤合束器的情况,在Z=14mm处的光场分布如下图3所示。激光计算可得三路合成时x,y方向上的平均光束质量分别为5.77和5.80,这样的结果显然不够理想。图3 基模三臂入射时Z=14mm处光场分布为了更为具体地确认入射激光中LP02模和LP11模对光束质量的影响,特意加入了一个中间模式——80%LP01+10%LP02+10%LP11。随后我们对四种情况进行仿真,得到了四种模式下激光入射到光纤功率合束器后再Z=25mm处的光场分布,如图4所示。图4四种模式下激光入射到光纤功率合束 ...
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