中文:接触式光刻;英文:contact printing / contact lithography

解释
中文:接触式光刻;英文:contact printing / contact lithography的原理;中文:接触式光刻;英文:contact printing / contact lithography的定义;中文:接触式光刻;英文:contact printing / contact lithography是什么。
将拟制备图形的掩模板直接和涂有抗蚀剂或光刻胶的基底(如硅片)进行接触,利用光束进行曝光,将掩模上的图形复制到抗蚀剂或光刻胶中的光刻工艺。
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