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盖板玻璃，前透明电极，液晶层，反射镜像素，集成电路背板（CMOS工艺）等结构组成。SLM有着广泛的应用，可以用于光束转向、分束、调焦，光镊，脉冲整形，衍射光学等领域。SLM的剖面图和相位调制原理图如图一所示：图1 SLM截面图及相位调制原理盖板玻璃起到保护和封装液晶的作用，针对实际使用中光源的不同波长范围，盖板玻璃表面镀有相应波长范围的宽谱AR膜，可以大大减少反射光，提高系统效率。前透明电极层位于液晶层的顶部，加载有恒定电压。液晶层是SLM中的工作物质，液晶分子的排列状况可以在电场作用下发生变化，从而改变经过该像素的光的相位延迟。像素位于液晶层底部，其上镀有铝或介质膜的反射层，具有很高的反射 ...
：保护玻璃，透明电极，液晶层，像素电极层（Wafer）构成。1） 保护玻璃的透过率窗口片保护玻璃的透过率在相应的工作波段（400-800nm,500-1200nm,850-1650nm）内通常在98.5-99.5%范围内，因此有少量的光被直接反射回去。2）透明电极的透过率透明电极的透过率一般都在99%以上，该部分造成的零级光基本可以忽略。3）空间光调制器填充率像素电极层（Wafer）由一个个的独立像元构成，从而SLM可以实现针对单个像元的独立调制。相邻像元之间会有微小的缝隙，缝隙部分无法加载电压，因此对应的液晶层无法加载相位，这部分未被调制的光会反射回去，产生零级光。4）入射光照射到非工作区域 ...
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