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中文：微纳光学加工；英文：micro/nano optical fab-rication

关键词
解释
中文：微纳光学加工；英文：micro/nano optical fab-rication的原理；中文：微纳光学加工；英文：micro/nano optical fab-rication的定义；中文：微纳光学加工；英文：micro/nano optical fab-rication是什么。
 在光学、光电、塑料等材料表面，以各种图形复制、转移和腐蚀等方法制备出微纳尺度或微纳米精度图形结构的过程。
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