中文:微纳光栅加工;英文:micro/nano grating fabrication

解释
中文:微纳光栅加工;英文:micro/nano grating fabrication的原理;中文:微纳光栅加工;英文:micro/nano grating fabrication的定义;中文:微纳光栅加工;英文:micro/nano grating fabrication是什么。
按所设计的光栅参数(如周期和高宽比等)要求,选取其基底和膜层材料,利用微纳加工技术制备微纳光栅的过程。
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