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中文：氢化物气相外延；英文：hydride vapor phase epitaxy / HVPE

关键词
解释
中文：氢化物气相外延；英文：hydride vapor phase epitaxy / HVPE的原理；中文：氢化物气相外延；英文：hydride vapor phase epitaxy / HVPE的定义；中文：氢化物气相外延；英文：hydride vapor phase epitaxy / HVPE是什么。
 至少包含一种氢化物作输运原材料的一种气相外延生长工艺。
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