解释
中文：光学微机电系统；英文：micro-opto-electro- mechanical system / MOEMS的原理；中文：光学微机电系统；英文：micro-opto-electro- mechanical system / MOEMS的定义；中文：光学微机电系统；英文：micro-opto-electro- mechanical system / MOEMS是什么。
简称“微机电系统”。一种利用微电子、微机械技术把电子、机械和光学部件集成在一起实现某些功能的微小集成系统。它属于微电子 （集成电路）、微机械和微纳光学三者相互交叉形成的一个学科分支的研制成果，例如数字微反射镜阵列器件（DMD）、光波导阵列开关、微机械法布里-珀罗腔（阵列）器件等。
