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中文：全息光刻；英文：holographic lithography

关键词
解释
中文：全息光刻；英文：holographic lithography的原理；中文：全息光刻；英文：holographic lithography的定义；中文：全息光刻；英文：holographic lithography是什么。
 利用全息照相方法构造的全息图代替标准的光刻掩模实现的光刻工艺。
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