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中文：近场光刻；英文：near field lithography

关键词
解释
中文：近场光刻；英文：near field lithography的原理；中文：近场光刻；英文：near field lithography的定义；中文：近场光刻；英文：near field lithography是什么。
 利用扫描近场光学显微镜产生的超分辨率光束实现的光刻工艺。
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