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中文：计算光刻；英文：computing lithography

关键词
解释
中文：计算光刻；英文：computing lithography的原理；中文：计算光刻；英文：computing lithography的定义；中文：计算光刻；英文：computing lithography是什么。
 将光刻成像的物理模型数字化，利用优化的控制算法实现的光刻工艺。
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