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中文：缩小投影光刻；英文：reduced projection lithography

关键词
解释
中文：缩小投影光刻；英文：reduced projection lithography的原理；中文：缩小投影光刻；英文：reduced projection lithography的定义；中文：缩小投影光刻；英文：reduced projection lithography是什么。
 利用缩小投影光学成像的方式，将掩模板上的图形缩小投影到基底上的抗蚀剂或光刻胶中的光刻工艺。
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