中文:微光机电陀螺;英文:MOEMS gyroscope

解释
中文:微光机电陀螺;英文:MOEMS gyroscope的原理;中文:微光机电陀螺;英文:MOEMS gyroscope的定义;中文:微光机电陀螺;英文:MOEMS gyroscope是什么。
利用微加工技术和微光学集成技术,将环形腔、光源、调制器及探测单元集成为一微小结构,并利用萨尼亚克效应原理制成的微小型陀螺。
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