中文：平面干涉仪；英文：flat interferometer

关键词

解释

又称“等厚干涉仪”。一种产生准直光束，垂直照射被测透明对象，形成等厚干涉条纹的分振幅干涉计量仪器。用于测量透明薄膜、透明平行板的光学均匀性，平板的平面度误差、表面缺陷等。