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仪的原理基于等厚干涉，当光线在两个平行表面之间多次反射时，会产生干涉条纹，通过分析这些干涉条纹，可以测量出表面的微小不平整度。菲索干涉仪的构造通常包括以下几个部分：1.光源：提供稳定的单色光或准单色光。2.准直系统：将光源发出的光变成平行光束。3.分束器：将光束分为参考光束和测试光束。4.标准平面或球面：作为参考表面，与被测表面形成干涉。5.被测光学元件：待测量的光学表面。6.成像系统：用于观察和记录干涉条纹。菲索干涉仪的应用非常广泛，它可以用于检测透明平行平板的光学厚度均匀性，也可以用于测量球面的面形和曲率半径。此外，菲索干涉仪还可以检测无限、有限共轭距镜头的波面像差。菲索干涉仪的测量精度通 ...
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