中文:全息曝光;英文:holographic exposure

解释
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将涂有光致抗蚀剂的光栅基底置入两束单色光形成的干涉场内,经过明暗相间的干涉条纹照射后,使光致抗蚀剂涂层发生与干涉条纹相对应的化学变化的处理过程。