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中文：物理-化学刻蚀；英文：physical-chemical etching

关键词
解释
中文：物理-化学刻蚀；英文：physical-chemical etching的原理；中文：物理-化学刻蚀；英文：physical-chemical etching的定义；中文：物理-化学刻蚀；英文：physical-chemical etching是什么。
 物理刻蚀及化学刻蚀结合的工艺过程。化学反应削弱化学键以增强离子溅射的效果，离子轰击又给化学反应提供了能量，具有较好的选择性。
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