中文:物理刻蚀;英文:physical etching

解释
中文:物理刻蚀;英文:physical etching的原理;中文:物理刻蚀;英文:physical etching的定义;中文:物理刻蚀;英文:physical etching是什么。
通过高能离子撞击待刻蚀表面,使材料发生溅射脱离表面,从而形成图形的工艺过程。