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ALPAO模式控制变形镜（DMM）
lt） 连续表面变形镜 分立式驱动器 垂直驱动 弯矩驱动器ez 整体式驱动器 最常用的一类变形镜是连续镜面分立式驱动器类型，典型结构如图2。整个结构分三个主要部分：基底、驱动器、薄镜面。基底由刚度较高的材料构成，主要作用是支撑整个变形镜的结构并且在工作过程中作为固定基板。单个驱动器可以由压电材料或电致伸缩材料叠片组成，很多个这样的驱动器按一定的空间分布固定在基底上并在其顶端粘接连接镜面。薄镜面的可选材料包括光学玻璃、硅、金属等。驱动器将电能转换为垂直方向上的位移，从而推动其上的镜面。不同的驱动器加上不同的电压就能够使镜面产生各种复杂的变形。图2 连续镜面分立式驱动器变形镜结构传统 ...
供薄膜型的，连续表面变形镜，每个驱动利用电磁的方式控制运动。变形镜分立式变形镜镜面不在是连续的，有单独的小镜面组，每个单独的镜面可以做上下运动，有些公司单独镜面可以做倾斜。但是相对于连续的镜面，分立式会有衍射光产生，效率偏低。液晶空间光调制器液晶空降光调制器，对于入射光需要线偏振光束。而且由于是像素组成的，同样也存在着衍射的现象。最后液晶相位延迟是与波长有关的器件。反馈控制有模型的反馈使用哈特曼传感器测量得到的波前信息，将相位按照不同模式展开，展开的模式有Zernike模式，Lukosz模式，本征模式。变形镜模拟各阶的Zernike模式会存在误差，但是本征模式是根据不同变形镜产生的不同模式，不 ...
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