中文：热蒸发镀膜；英文：thermal evaporation coating

关键词

解释

将镀膜材料在真空室内（压强小于10-2Pa）加热，使其原子或分子从表面逸出，并在衬底表面沉积、成膜的镀膜技术。它是最通用的镀膜手段。材料蒸发方式包括电阻加热蒸发、电子束加热蒸发等。