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中文:激光划片;英文:laser scribing
关键词
激光划片
laser scribing
解释
中文:激光划片;英文:laser scribing的原理;中文:激光划片;英文:laser scribing的定义;中文:激光划片;英文:laser scribing是什么。
一种利用高相干激光束将外延晶圆大片分割成小芯片的工艺。与传统的金刚刀机械划片不同,该工艺具有切缝小、对芯片的热和机械损伤小等优点。
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中文:外延;英文:epitaxy
中文:相干;英文:coherence
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