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中文：甩胶；英文：spin coating

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解释
中文：甩胶；英文：spin coating的原理；中文：甩胶；英文：spin coating的定义；中文：甩胶；英文：spin coating是什么。
 在基片上涂覆液态光致抗蚀剂并旋转基片，使光致抗蚀剂在基片上形成均匀膜层的工艺。
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