解释
中文：图形化蓝宝石衬底；英文：patterned sa-pphire substrate / PSS的原理；中文：图形化蓝宝石衬底；英文：patterned sa-pphire substrate / PSS的定义；中文：图形化蓝宝石衬底；英文：patterned sa-pphire substrate / PSS是什么。
用标准光刻工艺和刻蚀技术制作周期性、规则的几何图形，依此图形再进行后续薄膜外延的蓝宝石衬底。图形线度为纳米至微米量级。以此减少外延薄膜中的缺陷和增强LED 的出光效率。是基于蓝宝石衬底的LED工艺。
