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中文：平面光刻；英文：lithography on planar sub-strate

关键词
解释
中文：平面光刻；英文：lithography on planar sub-strate的原理；中文：平面光刻；英文：lithography on planar sub-strate的定义；中文：平面光刻；英文：lithography on planar sub-strate是什么。
 待刻蚀基底为平面时的光刻工艺。
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