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中文：非平面光刻；英文：lithography on nonpla-nar substrate

关键词
解释
中文：非平面光刻；英文：lithography on nonpla-nar substrate的原理；中文：非平面光刻；英文：lithography on nonpla-nar substrate的定义；中文：非平面光刻；英文：lithography on nonpla-nar substrate是什么。
 待刻蚀基底为非平面（如球面、拋物面等）时的光刻工艺。
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