菲索干涉仪(Fizeau interferometer)是一种光学测量设备,通常用于测试光学表面的质量,如平面度、波面像差和材料的均匀性等。菲索干涉仪的原理基于等厚干涉,当光线在两个平行表面之间多次反射时,会产生干涉条纹,通过分析这些干涉条纹,可以测量出表面的微小不平整度。
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菲索干涉仪
菲索干涉仪(Fizeau interferometer)是一种光学测量设备,通常用于测试光学表面的质量,如平面度、波面像差和材料的均匀性等。菲索干涉仪的原理基于等厚干涉,当光线在两个平行表面之间多次反射时,会产生干涉条纹,通过分析这些干涉条纹,可以测量出表面的微小不平整度。
菲索干涉仪的构造通常包括以下几个部分:
1. 光源:提供稳定的单色光或准单色光。
2. 准直系统:将光源发出的光变成平行光束。
3. 分束器:将光束分为参考光束和测试光束。
4. 标准平面或球面:作为参考表面,与被测表面形成干涉。
5. 被测光学元件:待测量的光学表面。
6. 成像系统:用于观察和记录干涉条纹。
菲索干涉仪的应用非常广泛,它可以用于检测透明平行平板的光学厚度均匀性,也可以用于测量球面的面形和曲率半径。此外,菲索干涉仪还可以检测无限、有限共轭距镜头的波面像差。
菲索干涉仪的测量精度通常可以达到光波长的十分之一到百分之一。在光学元件加工过程中,菲索干涉仪可以用来检查和测量光学元件的光学表面质量,如平面度及其局部缺陷与误差等。
菲索干涉仪的一个关键特点是它采用了振幅分割法,即入射光垂直于反射面射入,产生等厚干涉条纹,用以测量光学元件的误差。此外,菲索干涉仪还具有共光路的特点,即参考光和传感光是沿着同一条光路行进的,这有助于克服外界干扰,提高测量的稳定性。
总的来说,菲索干涉仪是一种精密的光学测量工具,它在光学元件的检测和质量控制中发挥着重要作用。通过精确的干涉条纹分析,菲索干涉仪能够提供关于光学表面质量的详细信息,帮助改进光学系统的性能。
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