部分光束作为参考光束与反射回来的测试光束干涉生成干涉图样，由CCD探测器接收，从而完成干涉测量。工作原理：通过照明小孔产生衍射波，衍射波作为参考波面，与被测光学系统产生的波面进行干涉，通过分析干涉图样来得到被测光学系统的波前误差。关键技术：关键技术之一是小孔掩模技术。小孔掩模的主要作用是通过衍射产生接近理想的球面波用于干涉测量，其直径、圆度及三维形貌对测量精度有决定性影响3。在点衍射干涉仪中，小孔的直径、圆度以及三维形貌对测量精度有重要影响。为了制造出满足测量要求的高质量小孔，需要对影响参考球面波质量的因素进行严格的仿真计算和分析。点衍射干涉仪的检测精度取决于衍射板中针孔衍射产生的参考球面波质 ...
：将光束分为参考光束和测试光束。4.标准平面或球面：作为参考表面，与被测表面形成干涉。5.被测光学元件：待测量的光学表面。6.成像系统：用于观察和记录干涉条纹。菲索干涉仪的应用非常广泛，它可以用于检测透明平行平板的光学厚度均匀性，也可以用于测量球面的面形和曲率半径。此外，菲索干涉仪还可以检测无限、有限共轭距镜头的波面像差。菲索干涉仪的测量精度通常可以达到光波长的十分之一到百分之一。在光学元件加工过程中，菲索干涉仪可以用来检查和测量光学元件的光学表面质量，如平面度及其局部缺陷与误差等。菲索干涉仪的一个关键特点是它采用了振幅分割法，即入射光垂直于反射面射入，产生等厚干涉条纹，用以测量光学元件的误差 ...
L光谱分析。参考光谱由实线灰色线表示。图3.激光诱导的长程热效应的观察——有光学孔径。(a) CIGS/CdS/i:ZnO图形线后的P1单色PL显微图像；(b) 选定的强度曲线，其中红色标签表示它们在y方向上的位置；(c) 归一化统计PL积分在选定区域内；(d, e) 烧蚀线(d) 左侧和(e) 右侧的统计PL光谱分析。参考光谱由实线灰色线表示。光致辐射复合的完全和突然耗尽可能表明化学成分的显著变化或有效的相变。由于SR热效应的范围远超光生载流子的迁移距离，可以很容易地理解SR热效应内的CIGS区域不再是光活性的。作为参考，Brown通过电子束诱导电流（EBIC）报告了0.30到0.52μm的 ...
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