点衍射干涉仪是一种利用小孔衍射产生理想球面波的干涉仪，它可以用于高精度的光学检测。这种干涉仪通过会聚光束照明小孔产生理想的球面波，作为测量基准波面。一部分光束作为测试光照射到被测元件的表面后，经小孔板反射回来；另一部分光束作为参考光束与反射回来的测试光束干涉生成干涉图样，由CCD探测器接收，从而完成干涉测量。
点衍射干涉仪
基本介绍：
点衍射干涉仪是一种利用小孔衍射产生理想球面波的干涉仪，它可以用于高精度的光学检测。这种干涉仪通过会聚光束照明小孔产生理想的球面波，作为测量基准波面。一部分光束作为测试光照射到被测元件的表面后，经小孔板反射回来；另一部分光束作为参考光束与反射回来的测试光束干涉生成干涉图样，由ccd探测器接收，从而完成干涉测量。
工作原理：
通过照明小孔产生衍射波，衍射波作为参考波面，与被测光学系统产生的波面进行干涉，通过分析干涉图样来得到被测光学系统的波前误差。
关键技术：
关键技术之一是小孔掩模技术。小孔掩模的主要作用是通过衍射产生接近理想的球面波用于干涉测量，其直径、圆度及三维形貌对测量精度有决定性影响3。
在点衍射干涉仪中，小孔的直径、圆度以及三维形貌对测量精度有重要影响。为了制造出满足测量要求的高质量小孔，需要对影响参考球面波质量的因素进行严格的仿真计算和分析。
点衍射干涉仪的检测精度取决于衍射板中针孔衍射产生的参考球面波质量，而针孔的直径是影响参考球面波质量的一个重要因素。
点衍射干涉仪可用于波前测量，无需参考镜、共光路结构等优点可以满足高精度的测量要求。研究了点衍射干涉仪，可以用一幅圆载频干涉图来恢复原始相位。
点衍射干涉仪在光学检测领域有着重要应用，特别是在高精度光学系统的检测中发挥着关键作用。通过不断优化其设计和制造工艺，点衍射干涉仪的测量精度和应用范围将得到进一步的提升。
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