年来直接激光干涉条纹法(Direct Laser Interference Patterning, DLIP)是在微结构加工中使用的快速而高效的方法。这个方法是用两束或者多束激光,在被加工表面上,直接形成干涉条纹曝光。通过控制光束的数量、入射角、波长、偏振态、强度、相位差等,可以精确控制干涉图样。论文中提出了用于增加干涉区域,从而实现高效利用高功率脉冲激光的新方法。此外,DLIP和LIPSS的结合,使得微结构和亚微结构的生产效率大大提升,大面积衍射以及超疏水表面的生产面积上升了几个数量级。实验中使用AISI 316L钢作为试验材料,这种钢在生产生活中有着广泛应用,比较有代表性。激光器使用的是1 ...
得对比度高的干涉条纹,与窄带激光干涉相比,白光干涉可以定位零级条纹,消除2p相位的误差,更精确判断液晶的相位改变量。同时由于精度的提高,此种方法可以实现像素级相位观测。相关文献:《基于扫描白光干涉法的LCOS芯片像素级相位分析》作者:屈铭,郑俊杰,李敏,桂聪,宋五洲关于昊量光电昊量光电 您的光电超市!上海昊量光电设备有限公司致力于引进国外先进性与创新性的光电技术与可靠产品!与来自美国、欧洲、日本等众多知名光电产品制造商建立了紧密的合作关系。代理品牌均处于相关领域的发展前沿,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等,所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防 ...
测量平面间的干涉条纹,能够计算出条纹的位相分布。被测平面的表面轮廓可通过位相分布来确定。下图为使用激光光源的斐索干涉仪基本的光学结构。激光束经物镜、针孔、准直透镜准直,参考光学平面与准直光束垂直,并采用光楔或减反射膜系来抑制它的背面反射。参考和测量面间的干涉条纹经电视摄像机来探测。分束器或λ/4波片以及偏振分束器用来引导光束入射于电视摄像机上。这种斐索干涉仪,需要采用长焦距的准直透镜来获得高的精度。干涉条纹函数I(x,y):式中,I。为背景光强度;y(x,y)为条纹调制函数;φ(x,y)为被测条纹的位相分布函数;φ。为参考面与测量面间光程差引起的初位相.为了从干涉条纹函数中获得位相分布函数φ( ...
进行干涉,对干涉条纹进行傅里叶变换,提取一激光的信息和零级光的信息,利用傅立叶变换进行相关的计算,计算出待测波前的相位分布,以及强度分布等。波前分析仪在半导体领域的应用:半导体行业的光刻系统依赖于ji其复杂的激光源和光学系统。Phasics公司SID4 系列波前传感器涵盖从紫外线(UV,190nm)到长波红外(LWIR,14um)的范围,已被证明在半导体行业中非常有价值,可用于鉴定此类光学系统的设计波长。越来越多的研发或制造工程师将SID4 波前传感器用于激光源和光学系统的对准和计量。波前传感器可在单次测量中获得完整的激光特性。波前传感器是支持光刻系统制造商和集成商校准、鉴定和监控其紫外光源和 ...
微秒级)捕获干涉条纹图,从而减少环境扰动和被测件不稳定带来的影响。市场上的动态干涉仪主要有两种瞬态采样及分析方式:基于倾斜条纹载波法和偏振移相方式32。其中,偏振移相方式利用微偏振阵列对捕获的干涉图像进行空间编码,实现单帧定量相位测量。动态干涉仪的应用非常广泛,它可以用于空间探测、大型光电系统中的大口径长焦光学元件与系统的原位面形测量。此外,它们也适用于精密光学加工领域,用于测量光学元件的面形和其他精密器件的参数。总的来说,动态干涉仪是一种强大的工具,它通过技术克服了传统干涉仪在动态或不稳定环境下测量的限制,提供了一种快速、精确且可靠的测量解决方案。更多动态干涉仪详情请访问上海昊量光电的官方网 ...
射时,会产生干涉条纹,通过分析这些干涉条纹,可以测量出表面的微小不平整度。菲索干涉仪的构造通常包括以下几个部分:1.光源:提供稳定的单色光或准单色光。2.准直系统:将光源发出的光变成平行光束。3.分束器:将光束分为参考光束和测试光束。4.标准平面或球面:作为参考表面,与被测表面形成干涉。5.被测光学元件:待测量的光学表面。6.成像系统:用于观察和记录干涉条纹。菲索干涉仪的应用非常广泛,它可以用于检测透明平行平板的光学厚度均匀性,也可以用于测量球面的面形和曲率半径。此外,菲索干涉仪还可以检测无限、有限共轭距镜头的波面像差。菲索干涉仪的测量精度通常可以达到光波长的十分之一到百分之一。在光学元件加工 ...
新结合,产生干涉条纹。这种干涉条纹可以用来测量光波的波长、物体的微小位移、厚度以及折射率等物理量。工作原理:当两束光的频率相同、振动方向相同且相位差恒定时,它们可以发生干涉。通过调节干涉臂的长度或改变介质的折射率,可以形成不同的干涉图样1113。干涉条纹实际上是等光程差的轨迹,因此,分析干涉产生的图样需要求出相干光的光程差位置分布的函数。迈克尔逊干涉仪的zhu名应用之一是迈克尔逊-莫雷实验,该实验证实了以太的不存在,为狭义相对论的基本假设提供了实验依据。此外,迈克尔逊干涉仪还在引力波探测中得到广泛应用,如激光干涉引力波天文台(LIGO)等,通过测量由引力波引起的激光的光程变化来探测引力波。迈克 ...
2)。明显的干涉条纹清晰可见图4 测量结果(数据图3)。峰值表示涂层厚度。它坚固而明显,表现出出色的选择性(没有其他厚度)二、厚度不均匀性涂层厚度不均匀性(测量点内)导致反射光谱类似于多层薄膜叠层。如果厚度变化足够大,则光相位(和干涉)将被扰乱,并且无法进行厚度测量。图5显示了覆盖具有不同厚度T1、T2的两个区域S1、S2的光斑尺寸示例。图5 测量点内不同厚度的区域当区域S1、S2的反射率到达光电探测器时,反射率被组合并转换为强度(反射率作为矢量/复数)。这个过程称为卷积。光相位不会丢失——它会转换为信号幅度。在数据分析过程中,信号被分解(使用FFT)并提取厚度。测量过程中的反射率变换如图6所 ...
。反射光谱中干涉条纹的幅度约为0.1%,并且非常清晰:薄膜叠层模型与测量数据相符,并且可以准确确定厚度/n&k。图1 低光学对比度测量–基材上的涂层,折射率差异<0.1反射条纹p-p幅度~0.1%。模型根据数据进行拟合,厚度/n&k被准确确定。为了进行比较,许多流行的可见光谱仪中使用的SonyILX和Toshiba1304探测器的DNR约为1000。使用这些探测器之一进行图1中的测量会更加困难。另一方面,像S10420这样的高质量CCD探测器的DNR约为40K至50K,并且可以准确测量0.01%的反射率。实际上,需要对固定模式噪声进行非常精确的校准才能测量低信号电平的信号 ...
A 效应会使干涉条纹几乎消失,在这种情况 下,软件校正无济于事。需要根据应用要求评估物镜的使用。 如果可能的话,使用低数值孔径物镜总是更好。实际上,在所有应用中,低NA(理想情况下NA < 0.5)对测量光谱的影响非常小。图 4 校正TFCompanion 中的NA 影响。 TFCompanion 有一个选项可以在“高ji”选项卡 (主屏幕)中设置测量的NA–这将包括曲线拟合期间计算中的NA 校正(通常不需要FFT 校正)MProbe 40 MSP 系统使用NA<0.55 的长工作距离 物镜。这非常大限度地减少了几乎所有胶片叠层的测量信号的衰减。此外,长工作距离使得导航到测量位置更 ...
或 投递简历至: hr@auniontech.com