动态干涉仪是一种高精度的光学测量设备，它能够对光学元件或系统的面形和波前进行快速而精确的测量。这种仪器特别适用于那些需要在动态环境下进行测量的场景，例如在没有光学气浮平台的车间里，或者在有嘈杂泵和空气处理机的洁净室内。
动态干涉仪
动态干涉仪是一种高精度的光学测量设备，它能够对光学元件或系统的面形和波前进行快速而精确的测量。这种仪器特别适用于那些需要在动态环境下进行测量的场景，例如在没有光学气浮平台的车间里，或者在有嘈杂泵和空气处理机的洁净室内。
动态干涉仪的主要特点包括：
1. 高测量频率：能够以高达800Hz的频率进行测量。
2. 长距离测量能力：zui大干涉测试距离可达100米。
3. 高重复测量精度：精度RMS（均方根）可以达到λ/1000或更高。
4. 对环境不敏感：能够抑制环境振动和湍流对测量精度的影响。
5. 适用于各种反射率的样品：被测样品的反射率范围从1%到100%。
便携性：一些动态干涉仪设计为便携式，适合在各种环境中使用。
动态干涉仪的工作原理通常涉及使用瞬态测量技术，这意味着它们可以在极短的时间内（微秒级）捕获干涉条纹图，从而减少环境扰动和被测件不稳定带来的影响。市场上的动态干涉仪主要有两种瞬态采样及分析方式：基于倾斜条纹载波法和偏振移相方式32。其中，偏振移相方式利用微偏振阵列对捕获的干涉图像进行空间编码，实现单帧定量相位测量。
动态干涉仪的应用非常广泛，它可以用于空间探测、大型光电系统中的大口径长焦光学元件与系统的原位面形测量。此外，它们也适用于精密光学加工领域，用于测量光学元件的面形和其他精密器件的参数。
总的来说，动态干涉仪是一种强大的工具，它通过技术克服了传统干涉仪在动态或不稳定环境下测量的限制，提供了一种快速、精确且可靠的测量解决方案。
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