相位偏折术/相位偏折测量系统
偏折测量技术（PDM）又称为相位偏折术或条纹反射法，是一种非接触式、低成本、高鲁棒性且高精度的面形测量技术,绝对检测精度可达10-20nm RMS,可以用于平面、球面、非球面、离轴抛物面、自由曲面等面型的高精度检测。具有测量角度大、非接触、精度高、速度快等特点。
上海昊量光电设备有限公司近日推出市面上shou款商业化的共轴偏折术测量系统，具有操作方便，检测精度高（<15nm RMS）,应用范围广等特点。相位偏折测量系统主要由ccd相机 、LCD显示屏和待测件三个部分组成，系统配置如下图。LCD显示屏投射提前生成好的结构光正弦条纹，正弦条纹被待测镜表面反射后发生畸变，CCD相机采集畸变后的条纹，再利用相位斜率映射关系从畸变的条纹图中计算出待测镜梯度信息，再根据基梯度数据的面形重构算法，重建出待测镜的面形。
图1 偏折术测试系统
检测精度高：<15nm RMS
测量范围宽：能够测量平面、球面、非球面、离轴抛物面、自由曲面等；
对环境噪声不敏感：具有非常强的抗环境干扰；
系统搭建简单、性价比高：使用商业化的配件，对成像光路没有特殊要求。
图2 平面镜（λ/10）检测
图3 球面镜（Thorlabs ,CM508-500-G01）检测
图4 离轴抛物面镜检测
图5 ONERA公司TMA自由曲面检测（右侧为LUPHOScan轮廓仪测试结果）
随着工业制造业发展，我国在航空航天、高端装备制造、汽车工业、生物医学与通信和微电子高科技等领域方面对镜面和镜面类等零件需求越来越大，其已经成为了我国在通信行业的关键零件之一。制造过程中有一道必要工序就是面形检测，目前的常用检测方法存在检测效率低，检测精度不满足要求等问题，随着上海昊量光电设备有限公司相位偏折测量系统（偏折术）推出，可以有效助力我国的科技项目。
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