椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。 主要是利用线偏振光经样品反射后转变为椭圆偏振光来获得薄膜样品的一些基本参数。该椭偏仪由包含四种不同波长的光源,不存在厚度周期性问题,可适用于透明膜、半透明膜及金属膜等。透明膜可提供厚度可达1μm,1秒的采谱时间,测量精度可达0.001nm。此外该设备可用于原位测量与ALD等设备联用。
膜厚测量仪(厚度范围1nm~1.8mm)
双折射测量技术介绍
椭偏仪(六)-椭偏仪数据处理模型-第二部分
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(九)- 光学模型的建立与数据的提取
如何提高动态范围和信噪比
椭偏仪(九)-椭偏光谱技术的应用
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(六)- 在位监测电化学沉积
石英注射器厚度测量
椭偏仪(二)-光在各向同性且均匀的界面反射原理
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(三)-应用案例
应用:测量金属板上的聚酯涂层
膜厚测量原理(三)-通过光谱反射确定薄膜特性
椭偏仪与偏振相位(十二)-斯托克斯椭偏仪的偏振定标实验结果与结论
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(三十一)- 单波长实时监测
非偏振分光镜对椭偏仪的影响(二)-NPBS引入的椭偏参数误差
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(三十)- 厚度的演变-层状模型
医疗支架图层测量
椭偏仪与偏振相位(九)- 传统的仪器偏振定标的误差
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(二十七)- 介电常数的演变
像散校正光纤光谱仪-交叉车尔尼设计与展开式车尔尼设计
椭偏仪与偏振相位(六)- 精确测量波片相位延迟量的原理
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(二十三)- 全波段沉积过程的准在位测试分析-不同沉积时间所对应的
膜厚测量原理(二)-光谱反射基础
椭偏仪与偏振相位(三)-补偿法的原理及误差分析
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(二十)- 长方形流动微腔
椭偏仪(一)-椭偏成像技术简介
椭偏成像技术(七)椭偏成像技术在生物学的应用以及数据处理
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(十七)- 系统误差与醋酸铅实验
光谱型椭偏仪的校准(三)-空气测量法
椭偏成像技术(四)光谱椭偏成像的发展(第二部分)
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(十四)- 在位监控装置的设计
椭偏成像技术(一)-椭偏成像的发展
光谱型椭偏仪的校准(六)-样片的均匀性考核
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(十一)- 工作电极的制备与椭偏仪在位监控
光刻胶厚度测量应用
椭偏仪(七)-椭偏仪数据处理模型-第三部分
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(八)- 溶液的影响和固液界面的影响
汽车零件图层厚度测量
椭偏仪(四)-系统成像原理
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(五)-Pb和Cu2O薄膜的电化学沉积
聚对二甲苯厚度测量
膜厚测量原理(六)-台式薄膜测量系统的优势
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(二)-在位监控原理
丙烯酸涂层厚度测量
椭偏仪与偏振相位(十一)-斯托克斯椭偏仪的偏振定标测量实验
OLED厚度测量
非偏振分光镜对椭偏仪的影响(一)-系统原理
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(二十九)- 能级寿命和电导率
小点厚度测量
椭偏仪与偏振相位(八)- 利用消光式椭偏仪测量波片相位延迟量实验
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(二十六)- 沉积体系建模拟合
水凝胶薄膜厚度测量
椭偏仪与偏振相位(五)-相位延迟量测量的实验数据
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(二十二)- 沉积前装置的椭偏数据
膜厚测量原理(四)-膜厚测量的方法
椭偏仪与偏振相位(二)-光谱扫描法的原理及误差分析
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(十九)- 圆形微流腔体
椭偏仪(五)-椭偏仪数据处理模型-第1部分
椭偏成像技术(六)椭偏成像技术在材料学和半导体的应用
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(十六)- 可行性分析
光谱型椭偏仪的校准(四)-样片测量法
椭偏成像技术(二)- 从单波长椭偏成像到光谱椭偏成像
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(十三)- 形貌及成分
粗糙表面上的膜厚测量
光谱型椭偏仪的校准(二)-椭偏仪的基本原理
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(十)- 研究内容和意义
光谱仪规格和厚度测量的关系
椭偏仪(八)-椭偏仪测量薄膜的优点和特点
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(七)- 当前在位监测装置设计
医疗应用:球囊导管的厚度测量
椭偏仪(三)-椭偏测量原理
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(四)-电化学沉积及原理
光刻胶测量概述
膜厚测量原理(五)-台式薄膜测量系统的应用
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(一)-基本原理
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(三十二)- 总结与展望
非偏振分光镜对椭偏仪的影响(三)-NPBS1与NPBS1引入的误差分析
PCBA上的涂层厚度测量
异质结构厚度测量
椭偏仪与偏振相位(十)- 仪器矩阵的非线性小二乘拟合定标原理
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(二十八)- 中心能量的演变
像散校正光纤光谱仪-数据校准和校正
椭偏仪与偏振相位(七)- 波片相位延迟量测量误差分析
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(二十五)- 全波段沉积过程的准在位测试分析-介电常数
膜厚测量原理(一)-薄膜
椭偏仪与偏振相位(四)-光强测量法的原理及误差分析
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(二十一)- 不同沉积条件CU20制备
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(二十四)- 全波段沉积过程的准在位测试分析-不同时间所测试的光学
椭偏仪与偏振相位(一)-几种波片相位延迟测量的实验搭建
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(十八)- Pb薄膜沉积实验
光谱型椭偏仪的校准(一)-椭偏仪校准思路
椭偏成像技术(五)光谱椭偏成像的发展(第三部分)
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(十五)- 弧形电解池的设计
光谱型椭偏仪的校准(五)-样片的制备与稳定性考核
光谱型椭偏仪的校准(七)-椭偏仪校准方案
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(十二)- 光学常数的提取与COMSOL Multiphysics
椭偏成像技术(三)- 光谱椭偏成像的发展
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