台式X射线源
激光源产生的紫外/软X射线辐射是Gottingen激光实验室开发的，由高脉冲能量YAG激光器（1064nm，800mJ，7ns）聚焦于气体电离产生。不同的目标气体对应不同的能谱分布。
指标参数：
波长范围： 1 - 20nm
脉冲宽度： 7ns
脉冲能量 (Xe): 3.5mJ
(4π sr, 2% BW)
转换效率 (Xe)： 0.45%
等离子分布： Φ ~ 300um
重复频率： 达10Hz
▼ Sketch of the sources equipped with an ellipsoidal focusing mirror.
Intensity profiles indicate the beam shape measured behind the optic. ▲ Emission Spetra of Various target gases
特点： 应用：
■ 低残留物 ■ 度量学：反射计量，吸收光谱 （NEXAFS）
■ 高EUV能量（3.5mJ） ■ 光学 / 传感测试
■ 气体消耗量少 ■ EUV 损伤研究
（气体脉冲周期 <1ms ）
■ 简易的目标气体更换 ■ 材料作用的基础研究
■ 桌面台式系统 ■ 水窗显微镜技术（λ =2-4nm)
另外，我们可以根据客户要求，提供关键部分产品，详情可咨询上海昊量光电设备有限公司。
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