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无掩模光刻

双光子聚合激光直写3D纳米光刻机DMD无掩模光刻机桌面型纳米压印机DLP光学引擎3D生物打印系统 显示全部
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DMD无掩模光刻机

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高速、低价格DMD式无掩模光刻机

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南方区负责人

姓名:石工(James)

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邮箱:zuyao-shi@auniontech.com

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姓名:许工(Sherry)

电话: 131 2213 4000(微信同号)

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DMD无掩模光刻机 SmartPrint UV System



DMD无掩模光刻机SMART PRINT UV是一种基于DMD投影技术的无掩模光刻设备,可兼容多种光刻胶和基材。SMART PRINT UV可以生产任何微米分辨率的二维形状,而不需要硬掩模。基于改进后的标准投影技术,投影出具有微米分辨率的图像,无掩模光刻机SmartPrint无需任何进一步步骤,就能直接从数字掩模光刻出您要的图。无掩模光刻机SmartPrint主要应用是MEMS, 微流体,二维材料,自旋电子学,生物技术和微电子等领域光刻表面微纳图案。


主要特性:

兼容SU-8、i、h、g线、AZ系统和宽带光刻胶等

SmartPrint-UV配备了385 nm光源或者405nm激光光源,以兼容标准i, h和g线光刻胶,如SU8或AZ®1500系列

适用于各种各样的基材

除了硅、玻璃、塑料、金属等基材还可兼容非标准基材(柔性薄膜基底,非平的,厚的)。

高速激光扫描振镜曝光速度

1000mm/s10物镜)或 5000mm/s2.5倍物镜) 

可对激光直写过程进行实时监控

物镜类型

我们的物镜经过精心选择,有1X、2.5X、5X、10X四款镜头,具有较长的工作距离(高达3厘米),使SP-UV成为一种非接触式技术。

可调直写范围和分辨率——用户可获得4种不同的直写分辨率        

蕞小特征尺寸≤1um                                                                     

      

手动旋转台:360°可旋转,精度 0.1°

           

兼容任何尺寸的样品,可至5平方英寸                                                      

     

   

对齐方式直观——反馈相机与第二束590nm准直光源叠加使用        


      


占地空间小,易维护



应用领域:

                 光器件                                                      微流控                                        微电子


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